给大家介绍一下净化工程的洁净室中的温度和气压控制!

2019-06-19 02:12:15 suzjxzs 245

  环保越来越受到人们的关注,越发是雾霾天色的增多。净化工程是环保对策之一,怎么诈骗净化工程来做好环保工作,底下而言说净化工程中的管制。

  1、洁净室中的温湿度管制

  洁净空间的温湿度主若是根据工艺要求来肯定,但在满足工艺要求的条件下,应研究到 人的舒适当感。跟着空气洁净度要求的升高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋向。

  详细工艺对温度的要求以后还要罗列,但作为总的原则看,由于加工精度越来越缜密,所以对温度振动界线的要求越来越小。例如在大规模集成电路制作的光刻曝光工艺中,作为掩膜板原料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。

  直径100 um的硅片,温度上升1度,就导致了0.24um线性膨胀,所以一定有±0.1度的恒温,同时要求湿度值通常较低,因为人出汗以后,对产物将有污染,独特是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超出25度。

  

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  湿度过高发生的问题更多。相对湿度超出55%时,冷却水管壁上会结露,假如发生在周密装置或电路中,就会导致各种事件。相对湿度在50%时易生锈。其余,湿度很高时将经过空气中的水分子把硅片表面粘着的尘埃化学吸附在表面耐难以消除。

  相对湿度越高,粘附的难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也简易吸附于表面,同时大量半导体器件简易发生击穿。关于硅片制作最佳温度界线为35—45%。

  2、洁净室中的气压章程

  关于大部分洁净空间,为了预防外界污染侵入,需求维持内部的压力(静压)高于外部的压力(静压)。压力差的维持通常应符合下面原则:

  1.洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。

  2.洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。

  3.相通洁净室之间的门要开向洁净度级别高的房间。

  压力差的维持依靠新风量,这个新风量要能赔偿在这一压力差下从裂缝漏泄掉的风量。所以压力差的物理意义即是漏泄(或渗透)风量经过洁净室的各种裂缝时的阻力。

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